Установка Condor Sigma W12 специально разработана для прецизионного тестирования на сдвиг и отрыв столбиковых и шариковых выводов на уровне полупроводниковой пластины. Установка имеет наибольшую рабочую зону и перемещение по осям X/Y в индустрии.
Установка Condor Sigma W12 – самая современная на рынке система тестирования соединений, объединяющая уникальные преимущества серии Condor с самыми новейшими технологиями тестирования и инновациями. Возможны два варианта исполнения системы – настольная установка или полностью автоматическая интегрированная установка с системой загрузки пластин. Держатели для пластин изготавливаются в соответствии с требованиями конкретного технологического процесса.
Интегрированная установка представляет собой полностью автоматическую, высокоточную, безопасную систему с максимальной производительностью. Отличительными особенностями установки Condor Sigma W12 являются: автоматическое определение размера пластины, центрованные зажимы на основе ПИД-регулятора, предотвращающие повреждение пластины при загрузке/разгрузке.
Револьверная измерительная головка
Компания XYZTEC хорошо известна многими инновационными решениями тестирования соединений. Револьверная измерительная головка (RMU) – один из результатов проектной группы XYZTEC, использующей обратную связь с потребителями. Гибкая конфигурация включает от 1 до 6 датчиков, позволяющих осуществлять полностью автоматическое или ручное тестирование. По сравнению с заменяемыми вручную картриджами RMU способствует сокращению времени переналадки и уменьшению риска повреждения датчиков. Датчики не требуют замены или нагрева, выбор датчика с инструментом осуществляется простым нажатием кнопки.
Плавное касание и высокое разрешение
Установка Condor Sigma W12 может выполнять различные типы тестирования с усилием, которое может быть менее 0,1 гс и до 10 кгс. Благодаря интеллектуальному программному обеспечению измерительная головка быстро перемещается к области тестирования, после приближения к области тестирования скорость измерительной головки уменьшается. Поправка с цифровой индикацией и самое высокое в мире разрешение, равное 24 бит, способствуют получению самых надежных и повторяемых результатов измерения. Усилие сдвига программируется до минимум нескольких грамм. Даже при более высокой скорости возможно плавное касание.
Встроенная система захвата изображения и автоматическая камера
Стандартная конфигурация установки включает перпендикулярную автоматическую камеру с небольшим смещением от контрольно-измерительной точки, с двумя видами увеличения и оптическим разрешением до 1.5 мкм. Установка Condor Sigma W12 может быть оснащена камерой высокого разрешения с оптической системой Mitutoyo которая обеспечивает захват детального изображения более высокого качества. Также, в целях автоматизации имеется опция распознавания реперных знаков.
Боковая камера
При помощи перпендикулярной камеры, которая обычно устанавливается на микроскоп, инструмент можно с легкостью совместить с тестируемым объектом в направлении слева направо, однако, в данном случае могут возникнуть сложности при совмещении инструмента в направлении вперед/назад. Для решения этой проблемы можно установить боковую камеру, которая позволит без усилий производить совмещение инструмента в любом направлении.
Держатель пластин
В большинстве случаев, сжатый воздух, подаваемый на вакуумный держатель XYZTEC, легко удерживает деформированные пластины. В случае если пластина чрезвычайно сильно деформирована, дополнительный держатель пластин гарантирует точную фиксацию (опция).
Устройство очистки держателя пластин
Чтобы удостовериться в том, что на пластине или на держателе не имеется никаких обломков пластины или загрязнений, в комплект установки может быть добавлен специальный полностью автоматический очиститель, который может выполнять очистку как до так и после тестирования.
Центрованные зажимы
Управляемые ПИД-регулятором центрованные зажимы с мягкими и гибкими вакуумными наконечниками надежно фиксируют как ровные, так и деформированные пластины, предотвращая их повреждение при загрузке/разгрузке.
Совмещение пластины
Для точной загрузки и совмещения пластины используются современные высокоточные оптические датчики.
Импорт/экспорт файлов с картами полупроводниковой пластины
Программное обеспечение для установок Condor Sigma позволяет импортировать и экспортировать файлы с картами полупроводниковой пластины в различных форматах (KLARF, INF, и т.д..). После импорта предоставляется полный обзор на карту пластины, система шаг за шагом проведет оператора по отмеченным дефектам. Проверенные позиции отмечаются на карте. После завершения тестирования, карта пластины и результаты тестирования могут быть экспортированы, обеспечивая полную прослеживаемость. Для каждого кристалла, можно сохранить результаты тестирования в формате картинки с высоким разрешением, на которой показываются и отмечаются тестированные позиции. Имеется программа просмотра файлов в режиме offline, позволяющая проверить экспортируемые файлы карты пластин и результаты тестирования.
Автофокус и система статистического контроля процессов
XYZTEC также предлагает расширенную версию программного обеспечения для установок тестирования Condor Sigma, которое позволяет производить статистический контроль процессов, и обладает улучшенной. Программное обеспечение обладает функцией автоматического распознавания и нахождения реперных точек, что значительно упрощает программирование последовательности выполнения автоматических действий. Средства автоматизации Condor Sigma обеспечивают быстрое тестирование случайно выбранных позиций. Функция распознавания реперных знаков гарантирует высокую повторяемость. С помощью видеосистемы оператор также может проводить и градуировку результатов, функциональность которой позволяет это сделать за считанные секунды.
Идеальное решение для тестирования на уровне пластины диаметром до 300 мм