Описание:

Easy Tube 101 – бюджетная, простая в управлении установка «под ключ» для проведения исследований, сконструированная в соответствии с современными стандартами безопасности. Система позволяет работать с воспламеняющимися, коррозионными и токсичными газами, такими как силан, герман, диборан, HCl, водород и металл-органические прекурсоры, проводить процессы при атмосферном давлении и в вакууме.

Область применения:

Установка модели EasyTube® 101 используется для отработки процессов и ее основные применения: синтез углеродных нанотрубок, графена, полупроводниковых нанопроводов; эпитаксии, получения оксидов, нитридов, отжига, диффузии, химической инфильтрации из паровой фазы, атомно-слоевого осаждения (ALD) при использовании газообразных, жидких и твердых прекурсоров.

Стандартная спецификация:

• Компьютерное программное обеспечение, позволяющее контролировать процессы, хранить данные, работать с интерфейсом безопасности и генератором рецептов для компьютеров на базе MS Windows.
• Перепрограммирование стандартных рецептов роста для одностенных и многостенных нанотрубок, нанопроводов, отжига, диффузии, оксидов, нитридов, ALD, эпитаксиальных слоев, графена и др.
• 3-зонная резистивная печь для температур до 1100 °С.
• Консольная система автоматической загрузки.
• Работа с подложками 25 х 50 мм
• Кварцевая реакционная камера, подложкодержатель, система напуска газа, термопара.
• Двойное вакуумное уплотнение с системой контроля течей.
• Газовые линии сверхвысокого давления с расходомерами – 4шт.
• Гарантия 12 месяцев.
• Интуитивно понятное ПО и система защиты.
• Сертификация CE и Semi-S2/S8.